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光学測定と接触測定の比較
WLSによる円筒内面のスキャニング
超精密三次元測定機Hyper CMM
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株式会社ロイビジョン

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▼ 光学測定 (CCDカメラ) と接触測定 (タッチプローブ) による
   ブロックゲージ測定比較
長さ100mmセラミックブロックゲージをCCDカメラとタッチプローブで繰り返し長さ測定を行いました。
それぞれブロックゲージを、X軸方向、Y軸方向、XY軸方向、-XY方向において25回繰り返し測定を行いました。
その結果、それぞれ25回の測定結果のばらつきは下記のとおりでした。


使用機種 Altera 602〔E1=±(0.6+L/400)、E2=±(1.1+L/400)、E3=±(1.6+L/300)

CCDカメラ
X軸方向 ばらつきの範囲 0.18μm
Y軸方向 ばらつきの範囲 0.18μm
XY軸方向 ばらつきの範囲 0.13μm
-XY軸方向 ばらつきの範囲 0.17μm
タッチプローブ
X軸方向 ばらつきの範囲 0.20μm
Y軸方向 ばらつきの範囲 0.17μm
XY軸方向 ばらつきの範囲 0.24μm
-XY軸方向 ばらつきの範囲 0.23μm
結論

 @機械の精度は非常に安定している。
 A光学測定と接触測定の測定結果の傾向は一致している。

いずれの測定も機械が動いて測定を行っているので、すべて機械の精度が反映されているといえる。

※これらの測定は20℃の温度環境で、普通の測定条件で行われたものであり、
  測定結果はチャンピオンデータではありません。


資料請求 上記のデータ資料をご要望の場合には、潟鴻Cビジョン宛てご連絡お願いします。

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▼ WLS (ホワイト・ライト・センサー) レンズ 90°屈折タイプによる
   円筒内面のスキャニング
従来WLSレンズはZ軸垂直に取り付け、垂直方向に戻ってきた光のデータを取りこむ方式だったため、円筒の内面の測定は行えませんでした。
このたびWLSレンズ先端にプリズムを取り付け、光の照射を90°屈折させるレンズが開発されました。
このレンズを使用して、円筒をロータリーテーブルで回転させることにより、円筒内面形状をスキャニングすることができます。



測定可能円筒内径 :  約φ20mm以上

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▼ 超精密三次元測定機 Allteraシリーズ
Alteraシリーズにさらに高精度な仕様も可能です。(Z軸: 220mm))

E1=±(0.30+L/400)、E2=±(0.42+L/400)、E3=±(0.62+L/400)

これ以上の仕様も打合せにより可能です。

             


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